专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
西北工业大学
>
一种氧化铝—氧化硅复合氧化物薄膜制备工艺制造技术
>技术资料下载
下载一种氧化铝—氧化硅复合氧化物薄膜制备工艺的技术资料
文档序号:1808103
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种氧化铝-氧化硅复合氧化物薄膜制备工艺,仅使用惰性气体氩气作为载气及稀释气体,以目前国际通用的化学气相沉积炉作为复合氧化物薄膜制造设备,能够制备出比例可调的氧化铝-氧化硅复合氧化物薄膜,制备温度约500~800℃,可用于制备对...
该专利属于西北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西北工业大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。