下载一种氧化铝—氧化硅复合氧化物薄膜制备工艺的技术资料

文档序号:1808103

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本发明公开了一种氧化铝-氧化硅复合氧化物薄膜制备工艺,仅使用惰性气体氩气作为载气及稀释气体,以目前国际通用的化学气相沉积炉作为复合氧化物薄膜制造设备,能够制备出比例可调的氧化铝-氧化硅复合氧化物薄膜,制备温度约500~800℃,可用于制备对...
该专利属于西北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西北工业大学授权不得商用。

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