下载翘板式电容差分传感器及传感系统的技术资料

文档序号:18081000

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本发明公开了一种翘板式电容差分传感器及传感系统,该传感器包括:目标件、探针和两个感应件,探针与目标件固连,目标件连接在转动连接部上,转动连接部与两个感应件限制相对移动地固定连接,以将以上各组件连接形成一个结构整体;该结构整体通过两个感应件各...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。

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