下载一种溅射旋转银靶材及其制备方法的技术资料

文档序号:18075652

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本发明公开了一种溅射旋转银靶材的制备方法,所述方法为:采用冷喷涂方法制备溅射旋转银靶材;基管为不锈钢管或钛管;喷涂用白银粉,所述白银粉的纯度不小于99.99%,所述白银粉的粉体粒度为15~100μm;冷喷涂喷嘴进口处工作气压力为2.5~10...
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