下载氮化铝一维纳米结构阵列的制备方法的技术资料

文档序号:1807297

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一种AlN一维纳米结构及其阵列的制备方法,其特征是以气化的AlCl↓[3]为Al源,以NH↓[3]/N↓[2]混和气为N源,在中温条件下,利用气-固相反应在负载有催化剂的基片上沉积得到AlN一维纳米结构阵列,包括AlN的纳米锥、纳米柱(或棒...
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