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本实用新型提供一种用于MOCVD处理系统的基片托盘存储腔，所述基片托盘存储腔内包括：多个上下叠放的第一支撑架和第二支撑架，其中第二支撑架中设置有冷却液管道用以冷却设置在第二支撑架上的基片托盘；所述多个第二支撑架固定到所述基片存储腔，并且至少...
该专利属于中微半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

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