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本发明提供一种溶液气化式ＣＶＤ装置，能够以高精度长时间控制ＣＶＤ用的原料溶液的流量。溶液气化式ＣＶＤ装置所具备的气化器包括：孔口管，在载气中使一种以上的原料溶液被分散为微粒子状或雾状；一种以上的原料溶液用通路２１～２５，以相互隔离的方式供给...
该专利属于尤泰克株式会社;矢元久良所有，仅供学习研究参考，未经过尤泰克株式会社;矢元久良授权不得商用。

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