下载控制沉积系统的喷射器的方法的技术资料

文档序号:1805196

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本发明提供了一种用于控制喷射器的方法。在控制沉积系统中的包括熔罐、引导通路和喷射喷嘴的喷射器的方法中,加热引导通路和喷射喷嘴。在加热引导通路和喷射喷嘴后加热熔罐。此外,在冷却包括熔罐、引导通路和喷射喷嘴的喷射器中,冷却熔罐。在冷却熔罐后,冷...
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