温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的目的在于不破坏有机薄膜表面地在其上形成溅射膜。在配置了靶（１１３ａ）的筒状侧壁（１０３）的开口中配置有粒子通路（１３０ａ），在其两侧配置有第１、第２捕集磁铁（１２１ａ、１２２ａ），在粒子通路（１３０ａ）中形成磁力线。在欲通过粒子通路...
该专利属于株式会社爱发科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱发科授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。