温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于在基底上气相沉积的设备。该设备包括盘和带有若干线性设置的孔的盖。在该盖的上方设有密封装置，该密封装置也包括若干开口。通过该密封装置，可以使盖的这些孔敞开或者封闭，所有的孔被同时处理。通过该密封装置，能够在极短的时间内设定不...
该专利属于应用材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。