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本申请公开一种硅晶体工件平整度检测装置，包括：接触式检测仪；检测仪移位机构，用于设置所述接触式检测仪；控制器，与所述接触式检测仪和所述检测仪移位机构连接，用于控制所述检测仪移位机构带动所述接触式检测仪移位以及控制所述接触式检测仪依序检测硅晶...
该专利属于上海日进机床有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海日进机床有限公司授权不得商用。

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