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本发明涉及真空沉积装置，其包括适用于接受待处理的基材（２）并置于真空下的外壳（１）以及至少一个用于产生有机材料的蒸汽的分子束的注射器（１１０）。具有阀门（２０）的注射器穿过外壳的底部并且包括适用于接受包含有机材料的可移动的储存器（１０）的喷...
该专利属于阿顿公司所有，仅供学习研究参考，未经过阿顿公司授权不得商用。

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