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晶片平整度修复器，在其机台上安装有固定架，在固定架的横杆顶端安装有升降气缸，在升降气缸的活塞杆上安装有负压吸盘，负压吸盘的吸气管道与真空泵连接，晶片负压吸附在负压吸盘上，在机台中部上方安装有集液盘，集液盘的循环管连接滴液头，在循环管上安装循...
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