下载化学气相沉积合成无金属催化剂自组生长碳纳米管的方法的技术资料

文档序号:1801253

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本发明公开了一种化学气相沉积合成无金属催化剂自组生长碳纳米管的方法,其特征在于:在载气的保护下,先将卧式真空管式高温炉升温到940℃~980℃并保温,再通入碳源气体和载气的混合气,碳源气体的分解产物在该高温炉的低温区衬底上沉积,形成自组生长...
该专利属于中南大学所有,仅供学习研究参考,未经过中南大学授权不得商用。

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