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本发明涉及一种陶瓷材料技术领域的高硬度Ｚｒ－Ｓｉ－Ｎ复合涂层及其制备方法。本发明在氩、氮混合气氛中采用高纯Ｚｒ靶和Ｓｉ靶共焦溅射，沉积在金属、硬质合金或陶瓷的基体表面沉积得到，Ｚｒ－Ｓｉ－Ｎ层的厚度总厚度为２～３μｍ。这种硬质涂层能够获得３...
该专利属于江苏科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏科技大学授权不得商用。

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