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本发明提供脆性金属合金溅射靶及其制造方法。制造溅射靶组件的方法包括步骤：混合／掺和选择量的至少一种第Ⅷ族贵金属或者近贵金属的粉末和至少一种第ⅣＢ、ⅤＢ或者ⅥＢ族难熔金属的粉末；将混合／掺和的粉末形成密度增加的生坯；从生坯形成全密度坯；从全密...
该专利属于贺利氏有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过贺利氏有限公司授权不得商用。

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