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大面积抗反射导电膜连续磁控溅射镀膜生产线，它包括在机座横向方向上布设数个依次相邻、且与抽气系统连通的由预抽室等组成的真空室组区以及紧邻的进片区、出片区，进片区由进片平移架等组成，出片区由出片平移架等组成，于真空室组区、进片区和出片区上设置磁...
该专利属于郭爱云所有，仅供学习研究参考，未经过郭爱云授权不得商用。

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