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流体控制装置以及泵制造方法及图纸
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文档序号:18003066
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本发明提供流体控制装置以及泵。泵(1)具备:具有中央部(21)、框部(22)与连结部(23~26)的振动板(15);层叠于中央部(21),使振动板从中央部(21)到连结部(23~26)呈同心圆状弯曲振动的压电元件(16);以及层叠于框部(2...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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