温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种低成本可快速大量制备集成化微型薄膜热电器件的制造方法，该方法利用价格低廉的厚负性光刻胶干膜代替SU‑8负性环氧树脂基光刻胶及其他类型较难加工和移除的光刻胶作为模板；以表面光滑导电材料作为基底；低能低成本曝光光源将光刻胶干膜与导...
该专利属于南京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。