下载一种半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:17997433

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种半导体结构及其形成方法,所述形成方法包括:提供半导体衬底,在所述半导体衬底内形成体区;在所述体区内形成漂移区,所述漂移区的掺杂类型与所述体区的掺杂类型相反;在所述体区内形成沟道区,所述沟道区部分向所述漂移区所在的方向延伸,形...
该专利属于杰华特微电子(杭州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杰华特微电子(杭州)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。