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本发明涉及一种绝缘栅双极晶体管及其制作方法。所述绝缘栅双极晶体管包括P型衬底、形成于所述P型衬底表面的多个沟槽、形成于所述P型衬底的沟槽所在一侧的表面上及沟槽中的N型外延。由于所述P型衬底和N型外延之间具有所述多个沟槽，在沟槽内存在有经过刻...
该专利属于深圳市晶特智造科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市晶特智造科技有限公司授权不得商用。

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