下载半导体功率器件的终端结构、半导体功率器件及其制作方法的技术资料

文档序号:17997421

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本发明提供一种半导体功率器件的终端结构、半导体功率器件及其制作方法。所述半导体功率器件包括N型衬底、形成于所述N型衬底上的第一层N型外延、形成于所述第一层N型外延层表面第一P型注入区、形成于所述第一层N型外延上的第二层N型外延、贯穿所述第二...
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