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本发明涉及一种用于三维集成电路封装的硅通孔转接板,包括:Si基板(11);MOS管(12),设置于Si基板(11)内;隔离区(13),设置于MOS管(12)四周且上下贯通Si基板(11),用于对MOS管(12)进行隔离;TSV区(14),设...该专利属于西安科锐盛创新科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安科锐盛创新科技有限公司授权不得商用。
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