温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明实施例公开了一种FFS模式阵列基板的制造方法，所述FFS模式阵列基板包括垂直结构薄膜晶体管，所述方法包括：提供基板；在基板上依序沉积透明半导体层和第一金属层,通过第一光罩图案化所述透明半导体层和第一金属层形成共通电极和栅极；从下到上依...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。