下载一种磁控溅射Co-Cr-Ta合金靶的制造方法的技术资料

文档序号:1799062

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本发明属于冶金制备领域,特别涉及一种磁控溅射Co-Cr-Ta合金靶的制造方法。该方法以99.95%的电解钴,99.9%的电解铬,99.9%的钽为原料,经真空熔炼,铸锭、锻造,轧制,热处理(或经真空熔炼,铸锭,轧制,热处理),然后机加工成成品...
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