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一种心轴和晶圆清洗装置，该心轴包括：具有充气口的气袋；突出于所述气袋的外表面的供装部；所述气袋在充气状态下：所述气袋沿所述心轴的轴向延伸；所述供装部沿所述心轴的径向突出，用于与套装在所述心轴上的零件过盈配合以实现所述零件与所述心轴的抗扭连接...该专利属于中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。