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本实用新型公开了一种窄束型线性离子源，包括阴极外环盖板、阴极内环盖板、阴极壳体、环形阳极、绝缘支柱、条形磁钢、气体电离室和环形离子束引出口；本实用新型整个环形区域都可以实现电离，离子线束较为集中，效率高；进气均匀，合理的气流布置和均布的气孔...
该专利属于深圳市鼎力真空科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市鼎力真空科技有限公司授权不得商用。

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