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本发明提供一种应用于真空溅射设备的基板承载装置，包括：外框；安装在所述外框上的多根交叉设置的第一支撑条和第二支撑条，所述第一支撑条和第二支撑条的交叉处形成所述节点，至少部分节点上固定安装有用于支撑基板的支撑顶针。本发明通过在外框上安装形成为...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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