The present invention provides a substrate bearing device for a vacuum sputtering device, including a frame, a first bracing bar and a second support bar installed on the outer frame, and a joint at the intersection of the first and second support bars, at least on the segment point and fixed to the support base. The supporting thimble of the plate. The invention becomes a mesh support bar on the outer frame, has a solid function on the whole range of the base and the lower and lower sides, has a more stable support and vibration suppression, and can greatly reduce the vibration and fragments; the first and second support strips have a small width to reduce the insulation effect on the temperature. The opening of the first bracing bar and the second supporting strip is evenly distributed in the outer frame, which can avoid the nonuniformity of the membrane due to the difference of heating temperature.
【技术实现步骤摘要】
一种应用于真空溅射设备的基板承载装置
本专利技术涉及屏幕显示
,尤其涉及一种应用于真空溅射设备的基板承载装置。
技术介绍
应用于平板显示(FPD)行业的的真空溅射设备,为了实现在基板上的溅射成膜,需要设置有承载装置,将基板放置在承载装置上进行传送。为了承载并稳固基板,降低基板在传送中的振动和破片,如图1所示,通常在载片装置的外框1´上设置有多根支撑杆(Bar)2´,支撑杆2´及外框1´上均安装有支撑顶针(pin)3´,用于在传送时对基板进行稳固支撑,并降低基板的振动,从而避免破片和刮伤。由于有支撑杆(Bar)和支撑顶针(pin)的存在,会引起该支撑杆区域A和非支撑杆区域B的加热温度差异,从而产生一些膜质的不均匀,导致出现Mura现象。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于,提供一种应用于真空溅射设备的基板承载装置,以降低对热的隔绝,减少成膜膜质不均匀。为了解决上述技术问题,本专利技术提供一种应用于真空溅射设备的基板承载装置,包括:外框;安装在所述外框上的多根交叉设置的第一支撑条和第二支撑条,所述第一支撑条和第二支撑条的交叉处形成所述节点,至少部分节点上固定安装有用于支撑基板的支撑顶针。其中,所述外框为矩形,所述支撑顶针以所述外框的中心对称分布。其中,所述交叉设置的多根第一支撑条和第二支撑条之间形成多个网口,所述多个网口在所述外框内均匀分布。其中,所述第一支撑条沿横向相互平行且间隔排列,所述第二支撑条沿纵向相互平行且间隔排列。其中,所述第一支撑条和所述第二支撑条均斜向交叉设置。其中,所述第一支撑条或所述第二支撑条的横截面为圆形,所述圆形的直径为5 ...
【技术保护点】
一种应用于真空溅射设备的基板承载装置,其特征在于,包括:外框;安装在所述外框上的多根交叉设置的第一支撑条和第二支撑条,所述第一支撑条和第二支撑条的交叉处形成所述节点,至少部分节点上固定安装有用于支撑基板的支撑顶针。
【技术特征摘要】
1.一种应用于真空溅射设备的基板承载装置,其特征在于,包括:外框;安装在所述外框上的多根交叉设置的第一支撑条和第二支撑条,所述第一支撑条和第二支撑条的交叉处形成所述节点,至少部分节点上固定安装有用于支撑基板的支撑顶针。2.根据权利要求1所述的基板承载装置,其特征在于,所述外框为矩形,所述支撑顶针以所述外框的中心对称分布。3.根据权利要求1所述的基板承载装置,其特征在于,所述交叉设置的多根第一支撑条和第二支撑条之间形成多个网口,所述多个网口在所述外框内均匀分布。4.根据权利要求1所述的基板承载装置,其特征在于,所述第一支撑条沿横向相互平行且间隔排列,所述第二支撑条沿纵向相互平行且间隔排列。5.根据权利要求1所述的基板承载装置,其特征在于,所述第一支撑条和所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄秋平,
申请(专利权)人:深圳市华星光电技术有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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