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低薄层电阻MEOL电阻器的方法与设计技术
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文档序号:17961402
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集成电路结构(100)包括:半导体衬底(102);在半导体衬底(102)中的浅沟槽隔离(STI)区域(106);形成在所述半导体衬底(102)上的一个或多个有源器件;以及电阻器阵列(138),其具有设置在所述STI区域(106)上方的多个电...
该专利属于赛灵思公司所有,仅供学习研究参考,未经过赛灵思公司授权不得商用。
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