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一种陶瓷加热器，其在圆板状的陶瓷盘的上表面具有用于载置晶片的晶片载置面。在陶瓷盘的内周区域埋设有1个以上的内周侧加热器部件，在外周区域埋设有1个以上的外周侧加热器部件。陶瓷盘中预定区域的厚度是陶瓷盘的直径的3.9％以下，这里，预定区域是包括...
该专利属于日本碍子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本碍子株式会社授权不得商用。

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