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文档序号:17961239

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本发明提供能够高精度地对键合工作台进行定位的键合方法。本发明的一方式是使用了具有使键合工作台(1)以θ轴为中心而旋转的旋转驱动机构的键合装置的键合方法,具备:相对于所述θ轴锁定所述键合工作台,在保持于所述键合工作台的基板的一部分区域键合引线...
该专利属于株式会社海上所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社海上授权不得商用。

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