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本发明涉及基板加热装置，更具体而言，涉及如下一种基板加热装置，包括位于基板加热装置的内部区域的第一发热体、位于外部区域的第二发热体及横穿所述内部区域而向第二发热体传输电力的第三发热体构成，通过使构成所述第三发热体的金属线直径比构成所述第二发...
该专利属于美科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过美科股份有限公司授权不得商用。

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