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用于制造纳米结构的方法技术
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文档序号:17961151
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用于制造纳米结构的方法,包括以下步骤:在衬底上生长第一纳米线;在衬底上形成电介质层,电介质层围绕第一纳米线,其中,电介质层的厚度小于第一纳米线的长度;以及从电介质层移除第一纳米线,从而暴露电介质层中的孔。...
该专利属于慕尼黑科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过慕尼黑科技大学授权不得商用。
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