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一种基底处理设备，基底处理设备包括：具有传输臂的晶圆传输设备，传输臂包括端部执行器；臂姿态确定性特征，臂姿态确定性特征与基底传输设备构成整体并且被设置为使得基底处理设备的静态检测传感器在传输臂径向运动的情况下在传输中检测至少一个臂姿态确定性...
该专利属于布鲁克斯自动化公司所有，仅供学习研究参考，未经过布鲁克斯自动化公司授权不得商用。

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