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薄膜晶体管基板及其制造方法技术
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文档序号:17958810
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本发明涉及TFT基板,像素具有:栅极电极,其选择性地配置在基板之上;栅极绝缘膜,其将栅极电极覆盖;半导体沟道层,其选择性地配置在栅极绝缘膜之上;保护绝缘膜,其配置在半导体沟道层之上;第1层间绝缘膜,其设置在基板之上;源极电极及漏极电极,它们...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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