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本发明涉及一种用于离子加速的结构。本发明提供了一种新型离子RF加速结构，该离子RF加速结构具有离子加速效率高的优点。当该离子RF加速结构应用于离子注入机时，与已有离子注入机相比可以获得更高的离子加速能量。...
该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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