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本实用新型公开了一种工艺气体进气管路系统,包括至少一个非饱和蒸汽气体管路、非饱和蒸汽气体汇集管路、饱和蒸汽气体管路和混合管路,至少一个非饱和蒸汽气体管路并联后连通于非饱和蒸汽气体汇集管路,非饱和蒸汽气体汇集管路和饱和蒸汽气体管路交汇后连通于...该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种工艺气体进气管路系统,包括至少一个非饱和蒸汽气体管路、非饱和蒸汽气体汇集管路、饱和蒸汽气体管路和混合管路,至少一个非饱和蒸汽气体管路并联后连通于非饱和蒸汽气体汇集管路,非饱和蒸汽气体汇集管路和饱和蒸汽气体管路交汇后连通于...