下载一种非球面工件夹持方法的技术资料

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本发明提供了一种非球面工件夹持方法。该方法中,基板具有与非球面工件的非球面相适配的非球面凹陷,非球面工件通过液体膜吸附在基板的非球面凹陷处;限位片固定在基板上,具有与基板上的非球面凹陷对应的槽口,用于限制非球面工件沿基板表面滑动。本发明的夹...
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