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本实用新型提供一种机械手臂组件及半导体生产设备，包括：机械手臂，用于抓取并传送晶圆；压力传感器，位于所述机械手臂上，用于侦测所述机械手臂承受的压力，并将侦测的压力值与目标压力值进行比对。本实用新型的机械手臂组件通过在机械手臂上增设水平传感器...
该专利属于德淮半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。

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