下载芯片势垒前的清洗装置的技术资料

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芯片势垒前的清洗装置。涉及集成电路制造领域,尤其涉及芯片势垒前的清洗装置。提供了一种方便加工,有效去除水分,提高产品质量的芯片势垒前的清洗装置。包括箱体,所述箱体的中间设有通过驱动器驱动的支撑台,所述支撑台上设有若干框架,若干框架呈环形均布...
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