下载掩膜板及其制作方法的技术资料

文档序号:17881844

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本发明涉及一种掩膜板及其制作方法,方法包括:制备具有像素定义层的衬底基板,像素定义层包括多个像素图案;检测衬底基板的像素定义层的各像素图案的位置,获得各像素图案的第一坐标值,记录第一坐标值;检测放置于掩膜框架上的掩膜基板的图案开口的位置,获...
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