下载垂直双扩散场效应晶体管及其制作方法的技术资料

文档序号:17881743

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一种垂直双扩散场效应晶体管包括N型衬底、第一层N型外延、形成于第一层N型外延表面的第一沟槽与第二沟槽、形成于第一沟槽与第二沟槽中的P型外延、形成于第一层N型外延及P型外延上的第二层P型外延、贯穿第二层P型外延的第三沟槽、位于第三沟槽中的第二...
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