下载一种半导体器件及其制造方法和电子装置的技术资料

文档序号:17881722

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本发明提供一种半导体器件及其制造方法和电子装置,涉及半导体技术领域。该方法包括:提供半导体衬底,在所述半导体衬底中形成隔离结构;在所述半导体衬底上形成栅极结构;在所述半导体衬底的部分表面上形成半导体接触层,所述半导体接触层覆盖预定形成浅结源...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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