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一种TFT基板的制造方法。首先提供金属基底并在其上形成栅极绝缘层,得到第一初级结构。在第一初级结构上沉积形成石墨烯,石墨烯包括连接设置的第一石墨烯层及第二石墨烯层,第二石墨烯层与部分第一石墨烯层形成双层石墨烯用作有源层,双层石墨烯位于栅极绝...该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。
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一种TFT基板的制造方法。首先提供金属基底并在其上形成栅极绝缘层,得到第一初级结构。在第一初级结构上沉积形成石墨烯,石墨烯包括连接设置的第一石墨烯层及第二石墨烯层,第二石墨烯层与部分第一石墨烯层形成双层石墨烯用作有源层,双层石墨烯位于栅极绝...