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本发明公开了一种衬底加工方法，其包括对经过切片所得的衬底进行磨边，以降低衬底边缘的粗糙度；使经过磨边工序后的衬底进入腐蚀工序，以去除由切片工序产生的损伤层的第一部分；对经过腐蚀工序的衬底进行抛光，以去除损伤层的第二部分。本发明提供的衬底加工...
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