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本发明提供一种离子源，能够实现位于漂移方向侧的丝极的长寿命化，并且能够从通过由该丝极所放出的电子生成的等离子体高效地引出离子束。该离子源具备：长条状的等离子体生成容器(10)；多个磁铁(30)，在等离子体生成容器(10)的内部形成会切磁场(...
该专利属于日新离子机器株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日新离子机器株式会社授权不得商用。

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