下载一种新型磁流体-压电薄膜结构器件及其制造方法的技术资料

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本发明公开了一种新型的磁流体‑压电薄膜结构器件及其制造方法,本发明的器件包括压电三明治结构及磁流体层,压电三明治结构包括压电薄膜层和设置在压电薄膜层上、下表面的上电极层和下电极层,上电极层和下电极层之间设有引线(未示出);磁流体层位于上电极...
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