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本发明公开了一种一体化氢气传感器，包括氢敏薄膜芯片、恒温控制电路和信号处理电路，所述氢敏薄膜芯片、恒温控制电路和信号处理电路集成在同一基片上。本发明还公开了一种一体化氢气传感器的制作方法，包括步骤：S01、在基片上烧印连线、隔离层、电阻及焊...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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