下载抗杂散光干扰的近背向散射光测量系统的技术资料

文档序号:17876101

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本发明属于光学测量技术领域,具体涉及一种抗杂散光干扰的近背向散射光测量系统。该测量系统包括取样装置和测量装置,取样装置包括球状真空靶室和成像镜头,球状真空靶室内设置有靶点和带有打靶激光通道的漫反射板,漫反射板附着于球状真空靶室内壁上;球状真...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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