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本发明提供了一种CrSiBCN纳米复合薄膜的制备方法，属于薄膜摩擦学及表面工程领域，能够提高CrN薄膜的硬度，降低CrN薄膜的干摩擦系数。本发明包括不锈钢基材的清洗、过渡层制备及纳米复合薄膜制备三个步骤，利用非平衡磁控溅射技术，在Ar、N2...
该专利属于南京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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